1)真空獲得:機械泵,羅茨泵,擴散泵。
2)儀器及電源:復合真空計,操作電源,加熱控溫電源
型號 |
工作區尺寸 |
裝爐量 |
額定溫度 |
極限真空度 |
加熱功率 |
爐溫均勻性 |
mm |
kg |
℃ |
(空爐冷態)Pa |
kw |
℃ |
|
HTSJ-50 |
250*220*500 |
50 |
1550 |
≤6.7*10-2 |
45 |
≤±5 |
HTSJ-100 |
320*300*600 |
100 |
60 |
|||
HTSJ-150 |
350*350*700 |
150 |
75 |
|||
HTSJ-200 |
400*400*750 |
200 |
90 |
|||
HTSJ-300 |
450*450*850 |
300 |
150 |